碾(nian)磨(mo)(mo)液碾(nian)磨(mo)(mo)剤の機能は、被碾(nian)磨(mo)(mo)物であるワークの表層(ceng)の凸出を去(qu)除して、ワーク的面上の非常平(ping)整(zheng)性を往上させることである。 たとえば、外部力量を應用(yong)して半導體(ti)ウェーハを碾(nian)磨(mo)(mo)する場合、碾(nian)磨(mo)(mo)剤はウェーハの的面上で化學(xue)反應反応によって轉換されたパッシベーション層(ceng)を去(qu)除して、目的意義の非常平(ping)整(zheng)度を処理(li)します。 現在(zai)、一般來說的に應用(yong)されている碾(nian)磨(mo)(mo)剤は、シリカコロイド、過酸ボウル、アルミナ、ナノダイヤモンドです。

腐食性媒介(jie)渠道には、主に酸(suan)とアルカリが含まれます。

酸(suan)堿性磨(mo)(mo)細(xi)液(ye)は、腐食性の役(yi)割(ge)を果(guo)たし、磨(mo)(mo)細(xi)プロセスの祛除率を高める應該(gai)性のある有機(ji)酸(suan)を用することがよくありますが、腐食性が高く、選択性が低く、高い磨(mo)(mo)細(xi)部件が這個必要(yao)です。銅、タングステン、その他の金屬(shu)制的材料の磨(mo)(mo)細(xi)によく用されます。

現在(zai)、含(han)酸性研磨設備液には2種類の有機酸が在(zai)使(shi)用されています。

1つは多(duo)官能(neng)基(ji)を持(chi)つアミノ酸で、もう1つは単純フシジン酸、軽(qing)フシジン酸、および両方の分(fen)層酸から選(xuan)択されます。

この探(tan)析では、2種類(lei)の有機酸(suan)の混合型物(wu)を操作した磨細(xi)液(ye)の除(chu)了(le)率は、いずれかの種類(lei)の有機酸(suan)を単(dan)獨(du)で操作した磨細(xi)液(ye)の除(chu)了(le)率よりも高いことがわかっています。さらに、いくつかの探(tan)析では、磨細(xi)液(ye)のpH値の増加(jia)に伴い、電(dian)化學磨細(xi)が多次的な役(yi)割(ge)を果たし、機械的磨細(xi)が構(gou)成的な役(yi)割(ge)を果たすため、磨細(xi)されるワークピースの表面層の品(pin)質が非(fei)常低(di)することが示されています。調整のために有機酸(suan)を追(zhui)加(jia)する用得著があります。

   アルカリ性(xing)(xing)(xing)拋(pao)光(guang)(guang)機(ji)(ji)(ji)液(ye)(ye)は、普(pu)通に、水(shui)硝(xiao)化(hua)作(zuo)用(yong)(yong)ナトリウム、水(shui)硝(xiao)化(hua)作(zuo)用(yong)(yong)カリウム、有(you)機(ji)(ji)(ji)アミンなどのアルカリ性(xing)(xing)(xing)物質を選(xuan)択(ze)して、拋(pao)光(guang)(guang)機(ji)(ji)(ji)液(ye)(ye)の偏酸度(du)およびアルカリ性(xing)(xing)(xing)を調整する。アルカリ性(xing)(xing)(xing)拋(pao)光(guang)(guang)機(ji)(ji)(ji)液(ye)(ye)は腐食が少(shao)なく、選(xuan)択(ze)性(xing)(xing)(xing)が高いため、シリコン、硝(xiao)化(hua)作(zuo)用(yong)(yong)物、フォトレジスト原(yuan)料(liao)などの非金屬原(yuan)料(liao)の拋(pao)光(guang)(guang)機(ji)(ji)(ji)によく安全使用(yong)(yong)されます。しかし、アルカリ性(xing)(xing)(xing)の拋(pao)光(guang)(guang)機(ji)(ji)(ji)液(ye)(ye)で硝(xiao)化(hua)作(zuo)用(yong)(yong)電(dian)位(wei)の高い硝(xiao)化(hua)作(zuo)用(yong)(yong)剤(ji)(ji)を見つけることは極(ji)易ではなく、拋(pao)光(guang)(guang)機(ji)(ji)(ji)効果に影(ying)響(xiang)を與えます。  普(pu)通的な插入剤(ji)(ji)には、硝(xiao)化(hua)作(zuo)用(yong)(yong)剤(ji)(ji)、潤滑(hua)剤(ji)(ji)、腐食防范剤(ji)(ji)、減少(shao)剤(ji)(ji)などがあります。

過酸剤(ji)(ji)は、碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)ワークピースの從漆層(ceng)(ceng)層(ceng)(ceng)に過酸膜を確(que)立(li)できます。これは、後続の機械碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)に如(ru)此有(you)益であり、それによって碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)効率と從漆層(ceng)(ceng)層(ceng)(ceng)溝壑性(xing)が積極します。潤滑剤(ji)(ji)は、碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)プロセス中の碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)物質と碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)ワークピースの從漆層(ceng)(ceng)層(ceng)(ceng)間の靜摩(mo)擦を減(jian)らすために適(shi)用されます。腐(fu)食剤(ji)(ji)が適(shi)切な濃度と形態で環境(jing)（自媒(mei)體）に具(ju)有(you)する場(chang)合(he)(he)(he)、素材の腐(fu)食を避免または減(jian)速できます。それを単獨で、またはいくつかの腐(fu)食避免剤(ji)(ji)と組み合(he)(he)(he)わせて適(shi)用できます。不集中剤(ji)(ji)は、碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)微(wei)粒間の反発(fa)力を高めることができます。指(zhi)定(ding)(ding)區域(yu)の碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)剤(ji)(ji)の再(zai)結(jie)合(he)(he)(he)を避免して、碾(nian)(nian)磨(mo)(mo)(mo)(mo)液(ye)の安定(ding)(ding)性(xing)を確(que)保し、ワークピースの從漆層(ceng)(ceng)層(ceng)(ceng)欠(qian)陥を減(jian)らします。增添物の選択は如(ru)此に更重要です。三部の探索(suo)者は、従來の合(he)(he)(he)金(jin)建材の腐(fu)食避免剤(ji)(ji)としてベンゾトリアゾールを適(shi)用すると、素材の從漆層(ceng)(ceng)層(ceng)(ceng)のたるみを升幅に低減(jian)し、立(li)體度を改善效果し、有(you)機殘存物を低減(jian)できることを発(fa)見しました。

同時に、佐藤栄一氏は、化學(xue)上機械磨細飽和(he)溶液の調(diao)用剤(ji)は次の前(qian)提條件を満たす不必要(yao)があると考えています。1）調(diao)用剤(ji)原(yuan)子は1つ超過の環狀官能基(ji)と原(yuan)子構造內に少なくとも1つのCC結合(he)を持っている。2）調(diao)用剤(ji)原(yuan)子これには、少なくとも1つの-OH官能基(ji)と較大1つの-COOH官能基(ji)が含まれます。